脉冲激光沉积ＡｌＮ薄膜的工艺优化与机械性能

郑晓华１，寇云峰１，张　继１，宋建强１，宋仁国２

Ｐｒｏｃｅｓｓ　ｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ#br# ＡｌＮ　ｆｉｌｍｓ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　ＰＬＤ　ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ

ＺＨＥＮＧ　Ｘｉａｏ－ｈｕａ１，ＫＯＵ　Ｙｕｎ－ｆｅｎｇ１，ＺＨＡＮＧ　Ｊｉ　１，ＳＯＮＧ　Ｊｉａｎ－ｑｉａｎｇ１，ＳＯＮＧ　Ｒｅｎ－ｇｕｏ２

浙江工业大学学报 . 2013, (2): 204 -209 .