脉冲激光沉积ＡｌＮ薄膜的工艺优化与机械性能

郑晓华１，寇云峰１，张　继１，宋建强１，宋仁国２

浙江工业大学学报 ›› 2013, Vol. 41 ›› Issue (2) : 204-209.

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脉冲激光沉积ＡｌＮ薄膜的工艺优化与机械性能

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
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Ｐｒｏｃｅｓｓ　ｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ#br# ＡｌＮ　ｆｉｌｍｓ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　ＰＬＤ　ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2013, 41(2): 204-209
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2013, 41(2): 204-209
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