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靶／基距对ＣｒＴｉＡｌＮ薄膜性能影响的研究
金　杰，李　娜，田正磊，李　浩
Ｔｈｅ　ｅｆｆｅｃｔ　ｏｆ　ｔａｒｇｅｔ－ｓｕｂｓｔｒａｔｅ　ｄｉｓｔａｎｃｅ　ｏｎ　ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ　ｏｆ　ＣｒＴｉＡｌＮ　ｆｉｌｍ
ＪＩＮ　Ｊｉｅ，ＬＩ　Ｎａ，ＴＩＡＮ　Ｚｈｅｎｇ－ｌｅｉ，ＬＩ　Ｈａｏ
浙江工业大学学报 . 2013, (1): 73 -75 .