靶／基距对ＣｒＴｉＡｌＮ薄膜性能影响的研究

金　杰，李　娜，田正磊，李　浩

浙江工业大学学报 ›› 2013, Vol. 41 ›› Issue (1) : 73-75.

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靶／基距对ＣｒＴｉＡｌＮ薄膜性能影响的研究

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Ｔｈｅ　ｅｆｆｅｃｔ　ｏｆ　ｔａｒｇｅｔ－ｓｕｂｓｔｒａｔｅ　ｄｉｓｔａｎｃｅ　ｏｎ　ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ　ｏｆ　ＣｒＴｉＡｌＮ　ｆｉｌｍ

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