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ＢＣＢ砂轮ＥＬＩＤ磨削单晶硅工艺实验研究
李　伟，戴　杰
Ｓｔｕｄｙ　ｏｎ　ＥＬＩＤ　ｇｒｉｎｄｉｎｇ　ｏｆ　ｓｉｎｇｌｅ　ｃｒｙｓｔａｌ　ｓｉｌｉｃｏｎ　ｗｉｔｈ　ＢＣＢ　ｇｒｉｎｄｉｎｇ　ｗｈｅｅｌ
ＬＩ　Ｗｅｉ，ＤＡＩ　Ｊｉｅ
浙江工业大学学报 . 2016, (3): 275 -278 .