多层ＭＥＭＳ结构的Ｓｔｏｎｅｙ延伸公式

董　健，蒋　恒，孙　笠

浙江工业大学学报 ›› 2014, Vol. 42 ›› Issue (4) : 452-457.

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多层ＭＥＭＳ结构的Ｓｔｏｎｅｙ延伸公式

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Ｅｘｔｅｎｓｉｏｎ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｓｔｏｎｅｙ　ｆｏｒｍｕｌａ　ｆｏｒ　ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ　ＭＥＭＳ　ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ

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