微桥法测试薄膜机械特性的力学模型验证

董　健，蒋　恒

浙江工业大学学报 ›› 2013, Vol. 41 ›› Issue (6) : 660-664.

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微桥法测试薄膜机械特性的力学模型验证

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Ｖａｌｉｄａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｍｏｄｅｌ　ｆｏｒ　ｍｉｃｒｏｂｒｉｄｇｅ　ｔｅｓｔｉｎｇ#br# ｏｆ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍｓ

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